真空爐系統中的油擴散泵是靠高速蒸汽射流來攜帶氣體以達到抽氣的目的，它工作在高真空區域，其工作壓強范圍為10-2～10-6pa。油蒸汽從傘形噴咀(如I級噴咀)以超音速噴出后，其速度逐漸增大，壓力及密度逐漸降低。

    1．概述 油擴散泵的工作原理與水蒸汽噴射泵相似，都是靠高速蒸汽射流來攜帶氣體以達到抽氣的目的，故有如水蒸汽噴射泵相似的特點。不同點是擴散泵工作在高真空區域，其工作壓強范圍為10-2～10-6pa。廣泛用于電子、化工、冶金、機械、石油及原子能等工業部門中。

    2．油擴散泵的工作原理與結構

    當油蒸汽從傘形噴咀(如I級噴咀)以超音速噴出后，其速度逐漸增大，壓力及密度逐漸降低，射流上邊的被抽氣體A因密度差要向蒸汽射流中擴散并被射流攜帶到水冷的泵壁處B，在B處，工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油鍋中循環使用，而被抽氣體在B處堆積、壓縮，最后被下級射流攜帶走，以達到逐級壓縮，最后被前級泵抽走。