第二次世界大戰(zhàn)后，航天、航空、電子技術(shù)(包括計算機(jī))及核技術(shù)等高科技尖端技術(shù)得到飛速的發(fā)展，而它們的發(fā)展離不開新型材料，新型材料的發(fā)展又需要采用新型設(shè)備，真空電爐就屬于這種新型設(shè)備。許多重要有色金屬和臺金必須在真空電爐中熔煉成材，例如金屬鈦(包括鈦合金)在大氣中熔煉會氧化，若在真空爐中熔煉就可以獲取不氧化的鈦，還可以將鈦合金澆注成零件。金屬鋯同鈦一樣也是在真空爐中熔煉的。許多高溫合金及精密合金也要在真空電爐中制取，如新型強(qiáng)磁性材料釹鐵硼臺金就是在真空燒結(jié)爐中制取的。

    宇宙工業(yè)中所用的許多零件都要在真空電爐中進(jìn)行熱處理，國外一些著名的飛機(jī)制造公司生產(chǎn)的飛機(jī)零件都要進(jìn)行真空熱處理方可驗(yàn)收，目的是保證工件的質(zhì)量。

    真空電爐是從50年代發(fā)展起來的。第一臺真空熱處理爐是在1958年美國伊普森公司制造出來的，并用于工業(yè)生產(chǎn)，這是一臺周期式氣淬爐．用于工具鋼和高速鋼工件的真空熱處理。第一臺周期式真空感應(yīng)爐是美國在1945年研制成功的，并用來熔煉特種鋼。第一臺用于工業(yè)生產(chǎn)的真空自耗爐是1955年出現(xiàn)的，用于熔煉金屬鈦，以后又用于熔煉特種鋼。第一臺電子束爐是在1954年研制成功的．并用于工業(yè)生產(chǎn)，主要是熔煉特種鋼、鉭和鈮。當(dāng)前擁有真空電爐的國家較多，其中美國、德國、日本和英國處于先進(jìn)行列。

    我國在真空電爐研制方面發(fā)展速度較快，1973年我國制造出第——臺真空熱處理爐并用于工業(yè)生產(chǎn)，解決了合金鋼零件的淬火處理問題。1962年我國生產(chǎn)出用于工業(yè)生產(chǎn)的真空感應(yīng)爐。1960年我國研制出真空自耗爐并用于生產(chǎn)，使我國鈦材生產(chǎn)有了迅速發(fā)展。1964年我國生產(chǎn)出第一臺用于工業(yè)生產(chǎn)的電子柬爐，這是一臺環(huán)形電子槍的電子束爐，以后又出現(xiàn)了皮爾斯槍的電子束爐。我國在真空電爐生產(chǎn)方面同國外發(fā)達(dá)國家比較有一定差距，主要是電爐質(zhì)量低些，具體表現(xiàn)在電爐的配套系統(tǒng)元件質(zhì)量差。如真空系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)、氣動系統(tǒng)和液壓系統(tǒng)等元件質(zhì)量差。這些都說明我國的基礎(chǔ)工業(yè)薄弱。近幾年來，我國的真空電爐質(zhì)量有很大的提高，發(fā)展速度也很快，有的已能出口。    ；

    最近國內(nèi)外對真空氣淬極為重視，并投入較大的人力和物力進(jìn)行研制。過去工具鋼和高速鋼件一般采用鹽浴爐淬火，但是，鹽浴爐淬火能耗大，成本高，對人體有害。自從真空熱處理新工藝出現(xiàn)后，開始應(yīng)用氣淬爐進(jìn)行淬火，尤其是采用高壓氣淬較多。用它淬火后的工件質(zhì)量好，節(jié)能，對人體無害，因此受到國內(nèi)外熱處理界的高度重視。有少數(shù)國家提出用真空氣淬爐(低壓氣淬和高壓氣淬)代替鹽浴爐淬火，這是金屬熱處理今后發(fā)展一個重要方向。我國的一些工廠和科研部門都在研制和生產(chǎn)高壓氣淬爐，并取得很好效果。